當(dāng)曝光不足時,由于單體聚合不徹底,在顯影過程中,膠膜溶漲變軟,線條不清晰,色澤暗淡,甚至脫膠,在蝕刻過程中容易翹膜、滲鍍、脫落;當(dāng)曝光過度時,會造成難于顯影,膠膜發(fā)脆,留下殘膠等弊病。曝光將產(chǎn)生圖像線寬的偏差,過量的曝光會使圖形線條變細(xì),使產(chǎn)品的線條變粗。所以對于整個工序來講,曝光是非常重要的環(huán)節(jié),曝光值會直接影響到蝕刻的品質(zhì)。
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